真空鍍膜機英福康振蕩器單元配薄膜控制儀

IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上，增添了更多的功能

，可幫助您實現沉積過程的大價值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統，提供穩定、高分辨

率的速率和厚度測量，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 ?/s，是行業中的。IC6 具有其

他石英晶體控制器比擬的性能、品質和功能，賦予您的過程的可重復性。

功能

INFICON ModeLock 技術確保獲得高、穩定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率低的情況下

Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度

支持zui多六個來源同時共鍍膜

彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況

100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄

強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統（使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，

14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個邏輯語句）

6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控

可容納多 50 個過程，每個過程 200 層，這些過程關聯到一起，總共可容納 10,000 層。

多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器

4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜

可選以太網通信

符合 RoHS 標準

典型應用

光學鍍膜

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